無塵室潔凈度等級參照標準

日期：2025-10-15 05:42

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摘要：

無塵室潔凈度等級參照標準

半導體工業是極精密的工業，當我們把計算機拆開之后，在電路板上一顆顆小小的IC都有數百萬顆甚至數千萬顆的晶體管。為了讓這些極小的晶體管妥善的工作，制造的過程必須在無塵室內進行，集成電路制造的工廠動輒需要數十億、數百億的投資，多因為需要一個無塵室。

所謂的無塵室是一個人造的環境，里面含有的粒子遠低于一般的環境，隨著集成電路技術的快速成長，也增加了對制造環境(無塵室)潔靜度的需求，在工業上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。由于奈米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。

依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5µm，例如，1級、10級、100級無塵室*大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5µm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75顆/立方英?)，1級在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35顆/立方英?)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優于1000級。

為保持無塵室的潔凈度，進出的人員有一定的穿著規定；10000與100000級，必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩；1000級(含)以上，需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住，并帶上手套和面罩，下表為無塵室清潔度的定義：

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