潔凈室的靜電控制

日期：2025-10-09 15:31

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摘要：

潔凈室的靜電控制

（1）靜電控制的基本原則
① 確定靜電控制級別
② 盡量減少靜電荷的產生
③ 泄放和中和的辦法加速靜電荷消散，防止靜電積累
④ 保護產品不受ESD的損壞

（2）確定靜電控制的級別
① 元器件、組件和設備靜電敏感度分級
1級：易遭受0-1999V靜電電壓損壞的
2級：易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的
3級：易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的
而敏感靜電壓大于16000V的，便不必采取防靜電措施。
② 靜電防護工作區的分級
A級：允許對地靜電電位不超過±100V
B級：允許對地靜電電位不超過±1000V
實際工程中是分靜電電位不超過100V、500V、1000V等對應元器件、組件和設備靜電敏感電壓的3級。

（3）盡量減小靜電荷的產生
這是控制靜電三步曲的**步，在這凈化工作環境中，*好的措施：
① 盡量采用性質相似器材，減少在接觸摩擦分離過程中產生靜電電荷；
② 盡量采用導靜電型或靜電耗散型材料的器材，減少接觸摩擦分離過程產生積累靜電荷；
③ 盡量采用減少接觸摩擦分離而產生靜電荷的生產流程。

（4）泄放和中和
這是控制靜電三步曲的**步，在微電子生產的凈化室中*通常的措施是接地，采用導電性或耗散性材料泄放靜電荷，以及離子化消電器中和靜電荷。① 接地潔凈室應設一個獨立靜電接地系統，包括地面接地金屬網支系統、生產線工作站（臺）接地支系統。以便室內所有設備金屬外殼，移動設備的金屬支架，防靜電器材等**、有效地將靜電荷泄放至大地，工作人員的帶電則通過手腕帶接地，通過防靜電鞋或腳跟帶再經防靜電地面向大地泄放。地面、墻面、頂棚、隔斷等是硬接地，設備外殼、移動設備（車、椅、貨架等）、工作臺等則屬軟接地。
② 離子化肖電器
潔凈室中生產組裝的元器件、PCB、生產線上、工作站上總是難免存在一些不能接地的絕緣導體，絕緣介質材料（例如大多數普通塑料），在某些環境下，離子化消電器常用來局部消散這些物體上的靜電荷，而更經常的是借助于空氣離子化來中和在絕緣介質上和孤立導體上的所帶靜電電荷。
③ 導靜電和靜電耗散材料
導靜電材料和靜電耗散材料由于其具有導靜電性，也是很好的靜電荷泄放材料，而且比金屬導體泄放更具有**性，通常被采用做地板、墻面、工作臺、周轉容器、鑷子、刷子等防靜電器材。

（5）防ESD，保護產品
這是控制靜電的三步曲中*后一步，在微電子生產的凈化室中，為阻止ESD發生在靜電敏感元器件或組件、PCB上，一種方法是對元器件和組件提供合適的接地或分路以“消散”掉產品上存在的靜電荷；**種方法是用恰當的包裝方法和材料來處理靜電敏感器件的包裝和輸運。這些材料可有效地屏蔽電荷侵入產品以及減少產品在包裝箱中移動而產生靜電荷。
國際上，半導體、平面液晶顯示器，光電子發展很快，集成度越來越高，8”12”芯片出現，芯片線徑越來越細，對防靜電要求越來越高，見表4。
美國ESD協會已開始修訂ANS ESD S 20.20-1999靜電放電控制大鋼，對SSD靜電敏感性分類已作了些修改，見表5、6、7。
這給元器件使用者一個警示，不論在人員或設備進行裝備制造時，告訴你能需要的環境控制要求。如果EPA區域內允許電壓達到25V的話，恐怕我們現有的防靜電器材、裝備、工具以及工程都要經過一番艱苦的努力。

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