無塵室的等級

日期：2025-10-09 13:32

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摘要：

無塵室的等級-無塵室等級劃分標準-無塵室等級簡介

[Clean ROOM]潔凈室，亦名無塵室或清凈室，目前已是半導體工業和生物化學、醫藥、食品界等不可或缺之重要設施。近幾年來，由于技術之**發展，對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路(VLSI，Very Large Scale Integrated Circuit)之研究制造，已成為世界各國在科技發展上極為重視之項目，我國亦不例外。

然積體電路與精密軸承(Bearing)、太空航空儀器、光學機械等之精密機械產業，對于空氣中之浮游粒子、粉塵等之污染極為敏感，且對于產品之品質、可靠性及良率高低有著極大之影響。由于以上之產品必須在良好之潔凈室內進行生產制造，故工業用之潔凈室在各種產業上已被廣泛采用。另一方面在醫學上及醫療技術方面，對于手術室，新生兒室、重癥加護病房(Intensive Care Unit, ICU)、**病房及冠狀動脈加護病房，(Coronary Care Unit,CCU)等場所所為達成高度醫療效果，亦需有去除空氣中浮游**之無菌之無菌環境，以維人員生命**。其次在制藥工作、食品制造業及醫療儀器制造業、生化及**培養等為提高產品品質及**衛生，以去除空氣中浮游**或微生物與外界異物之干擾侵犯之無菌潔凈室亦應運而生。

針對積體電路（半導體行業）而言，潔凈室*重要之作用在于控制產品(如夕晶片等)所接軸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為[潔凈室}。換言之，潔凈室之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、**等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計之房間。亦即是不論為在之空氣條件如何變化，其室內均能具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

從另一角度看，潔凈室之立方英尺內之空氣所含有大或等于0.5um(10-6M)之灰塵粒子不超過1顆；潔凈室10級則為不超過10顆，潔凈室100級，1000級......依此類推，為無塵室的等級分類。我們可以一簡式表示之即Class1:≦1pc/ft3(@≧0.5um),Class10:≦10pcs/ft3(@≧0.5um)......。

由以上之定義，我們可知構成無塵室須具備以下之各項因素：

能除去空氣中漂游之微塵粒子。能防止微塵粒子之產生。溫度和濕度之控制。壓力之調節。有害氣體之排除。結構物與隔間之氣密性。靜電之防制。電磁干擾之預防。 **因素之考慮。節能之考量。

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